-50A

-35B

-40A

-45A

量測(cè)範(fàn)圍

Z方向

±400um

±160um

驅(qū)動(dòng)軸

X方向50mm

X方向 12.5mm

Y方向 4.0mm

分解能

Z方向

0.00016μm/±4μm~0.016μm±400μm

0.0064μm/±160μm/

解析項(xiàng)目

對(duì)應(yīng)規(guī)格

JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,DIN-1990,ASME-1995,ASME-2002,CNOMO規(guī)格

粗度測(cè)量參數(shù)

JIS-2001

Ra,Pa,Pq,Pt,Rz,RzJ,Rzmax,Rq,Rp,Rt,R3z,RSm,Pc,AVH,Hmax,Hmin,Pmr,Rmr,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K

Motive

R,Rx,AR,W,Wx,AW,Wte

評(píng)價(jià)曲線

斷面曲線、粗度曲線、ISO13565特殊粗度曲線、粗度MOTIVE、波紋MOTIVE、包絡(luò)波紋曲線

特性圖表

負(fù)荷曲線、振幅分布曲線

濾波

濾波方式

高斯濾波、2RC濾波（位相補(bǔ)償型）、2RC濾波（位相非補(bǔ)償形）

截止值

入c: 0.08、0.25、0.8、2.5、8、25mm

入s:0.25、08.、2.5、8、25μm

入c: 0.08、0.25、0.8、2.5mm

入s:2.5、8μm

入c: 0.08、0.25、0.8mm

入s:2.5μm

評(píng)價(jià)長(zhǎng)度

0.1～50mm(0.1mm單位)

0.4～12.5mm(0.1mm單位)

0.4～4.0mm(0.1mm單位)

驅(qū)動(dòng)速度

0.15～1.5mm/s

0.6mm/s

0.3mm/s

操作

動(dòng)作方式

通用型

標(biāo)準(zhǔn)型 

退避型

橫向測(cè)量型

感應(yīng)方式

差動(dòng)變壓

差動(dòng)電感（變位型）

測(cè)量力

0.75mN以下

4mN以下

測(cè)針

先端：2μmR、60°圓錐、金鋼石

先端：5μmR、90°圓錐、金鋼石、Skid式：藍(lán)寶石、32mmR(滑動(dòng)方向)

其它

電源

內(nèi)置充電式電源（AC變壓器充電）、充電時(shí)間：3小時(shí)、消費(fèi)電力：約30VA（充滿電可測(cè)600次）

外觀尺寸、質(zhì)量

FLEX數(shù)據(jù)處理器：132（W）*58(D)*214(H)mm,約900g

標(biāo)準(zhǔn)付屬品

標(biāo)準(zhǔn)片（E-MC-S24B）,AC變壓器，手提帶，記錄紙（E-CH-S25A），使用說(shuō)明書(shū)

傳感器（E-DT-SE19A）

測(cè)針（DM43801）

驅(qū)動(dòng)部連接線（E-SC-S517A）

傳感器（E-DT-SM10A）

后側(cè)調(diào)整器（E-WJ-S64A）

驅(qū)動(dòng)部連接線（E-SC-S518A）

傳感器（E-DT-SM39A）

標(biāo)準(zhǔn)片盒（E-WJ-S558A）

V型臺(tái)（E-WJ-S536A）

驅(qū)動(dòng)部線（E-SC-S519A）