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表面粗糙度.輪廓測(cè)量機(jī)2900DX

作者:admin    更新時(shí)間:2017-06-30 16:11:52  【打印此頁

一臺(tái)兩用高精度復(fù)合機(jī)

輪廓檢出器的指示精度:±(0.8+︱2H︱/100)μm, 分解能:實(shí)現(xiàn)0.025 μm (全范圍)

最高粗糙度測(cè)量倍率:最大可達(dá)到50萬倍。用高精度可以測(cè)量及評(píng)價(jià)精密加工部件的粗糙度和輪廓形狀。


■裝載有新型線形馬達(dá)驅(qū)動(dòng)(專利申請(qǐng)中)

能達(dá)到世界最高水平的測(cè)量速度和低振動(dòng),實(shí)現(xiàn)更加穩(wěn)定的高倍率測(cè)量。

而且,國(guó)為是構(gòu)造簡(jiǎn)單的非接觸式驅(qū)動(dòng),所以能長(zhǎng)期穩(wěn)定的使用。


■使生產(chǎn)性大幅度提高的高速測(cè)量

粗糙度測(cè)量: 最大3mm/s, 輪廓測(cè)量  最大20mm/s,移動(dòng)速度 最大60mm/s

測(cè)量效率:   最大提高10倍(本公司相比)

項(xiàng)目 / 型式

SURFCOM  2900DX3/SD3

-12

-13

-14

-15

-22

-23

-24

-25

量測(cè)範(fàn)圍

Z軸(縱方向)

50mm

X軸(橫方向)

100mm

200mm

精度

粗度檢出器

檢出器測(cè)量解析度

0.01μm/1000μm測(cè)量範(fàn)圍~0.0001μm/6.4μm測(cè)量範(fàn)圍

輪廓用檢出器

Z軸指示精度

±(1.8+|2H|/100)μm   H:測(cè)量高度(mm)

測(cè)量解析度

0.025μm/全范圍

驅(qū)動(dòng)部粗度

X軸測(cè)量解析度

0.04μm 或者 32,000點(diǎn)(數(shù)據(jù)取入數(shù)3000,000點(diǎn))

驅(qū)動(dòng)部輪廓

X軸指示精度

±(1.0+1L/100)μm   ( L:測(cè)量長(zhǎng)度mm)

測(cè)量解析度

0.016μm

 真直度精度

粗度:(0.05+1.0L/1000)μm  L:量測(cè)長(zhǎng)度(mm)   輪廓:1μm/100mm、2μm/200mm

感應(yīng)方式

X軸(橫方向)

Moire光柵尺

Z軸(縱方向)

粗度檢出器

差動(dòng)變壓器

輪廓檢出器

雷射光學(xué)尺

速度

立柱上下速度(Z軸)

3~10mm/s

測(cè)量速度(X軸)

測(cè)量速度:0.03~20mm/s,移動(dòng)速度:最大60mm/s

檢出器

粗度

測(cè)針、測(cè)量力

交換式、0.75mN以下

測(cè)針半徑、材質(zhì)

2μmR,(60°圓錐鑽石材質(zhì).)1支標(biāo)準(zhǔn)付屬品

輪廓

測(cè)針、測(cè)量力

交換式、30mN以下

測(cè)針半徑、材質(zhì)

25μmR,(24°圓錐鑽石材質(zhì).)2支標(biāo)準(zhǔn)付屬品

測(cè)量方向、方式

拉、壓方向、上下方向、最大尋跡角度:77°

移動(dòng)范圍

驅(qū)動(dòng)部行程

100mm

200mm

立柱上下動(dòng)行程

226mm

426mm

626mm

226mm

426mm

626mm

平臺(tái)

尺寸

600×320mm

1000×450mm

600×320mm

1000×450mm

容許載重量

37kg

28kg

93kg

84kg

31kg

22kg

87kg

78kg

其它

設(shè)置尺寸

1250mm

1650mm

1250mm

1650mm

800mm

900mm

800mm

900mm

1480mm

1680mm

1880mm

1480mm

1680mm

1880mm

質(zhì)量

225kg

235kg

420kg

430kg

230kg

240kg

425kg

435kg

電源、消耗電力

單相AC100V±10%(要接地)﹑50/60Hz / 670VA